淬火件回火(主要是低溫回火)后，其組織未完全穩(wěn)定，應(yīng)力也消除不徹底，在長期使用過程中，會繼續(xù)發(fā)生轉(zhuǎn)變，導(dǎo)致組織、尺寸的變化，使工件失去應(yīng)有的精度。因此，對于精密工件，在淬火、回火或半精、精加工后還要進行穩(wěn)定化處理，以穩(wěn)定組織，消除應(yīng)力，保證工件的尺寸精度。
    穩(wěn)定化處理(或稱為低溫時效)溫度一般比低溫回火溫度低20—50~C(常采用100～160qC)，保溫時間一般為十幾甚至幾十個小時，用以穩(wěn)定組織和最大限度地減小內(nèi)應(yīng)力，從而使尺寸穩(wěn)定。有的工件回火后經(jīng)多次磨削加工，還進行多次穩(wěn)定化處理。
    穩(wěn)定化處理主要用于精密刀具、量具、絲杠、主軸、油嘴液壓泵偶件等。如尺寸為Ф70ram x 1590mm的CrMn鋼鏟床精密絲杠加工工藝路線為：下料一正火一球化退火一粗車外圓及螺紋一去應(yīng)力處理一粗磨外圓、半精車螺紋、銑鍵槽一淬火、回火一粗磨外圓及螺紋一穩(wěn)定化處理一精磨外圓及螺紋。
    有的精密工件如38CrMoAlA磨床主軸于調(diào)質(zhì)并精車后，在低于其高溫回火溫度下進行的熱處理主要是為去除加工過程中產(chǎn)生的應(yīng)力，通常稱之為去應(yīng)力處理。
    五、淬、回火件的質(zhì)量檢驗
    工件經(jīng)淬火、回火后主要進行如下檢驗：
    (1)外觀檢驗工件表面不得有裂紋和有害傷痕。
    (2)表面硬度  硬度必須滿足技術(shù)要求，硬度誤差不超過有關(guān)規(guī)定(普通單件<6HRc，硬度要求嚴的單件<3HRc；同一批的普通件<9HRC，同一批硬度要求嚴的工件<5HRC)。
 (3)金相組織金相組織應(yīng)達到工件所要求的正常組織。金相組織檢驗項目主要包括馬氏體級別、碳化物與殘留奧氏體級別及奧氏體晶粒度等。不同鋼種的檢驗項目不同。
    (4)畸變工件的畸變應(yīng)不影響其后的機械加工及使用，具體的畸變量應(yīng)由冷、熱加工工藝人員協(xié)商確定。通常薄板類工件主要檢驗平面度，軸類工件主要檢驗直線度，孑L類工件主要檢驗圓度。